与一般的净化生产车间差不多，按照生产工艺流程和洁净级别布置即可。流程尽可能短，减少交替往复，人流、物流走向要合理。不过车间人均面积不要少于4㎡（除走廊、设备等物品外），保证有安全的操作区域。功能间倒是没有硬性规定，常见的包括人员净化室和物料净化室，除配备产品工序要求的用室外，还可配备洁具室、洗衣间、暂存室、工位器具清洗间等，每间用室相互独立，面积应在保证基本要求的前提下，与生产规模相适应。如果没有特殊要求，空气洁净度百级、万级的洁净室温度设置在为20-24℃，相对湿度设置在45%-65%即可。
空气洁净度十万级、 三十万级的洁净室（区）温度则设置在18-26℃，相对湿度设置在45%-65%。人员净化用室的温度，冬季保持在16-20℃，夏季保持在26-30℃。
我个人其实比较建议你直接咨询专注于洁净工程领域的EPC集成服务商的，比如CEIDI西递这种。毕竟洁净工程是一个专业性很强的行业，拥有专业知识，丰富实践经验的专业人士回答会更靠谱。