高纯气体管道系统使用的越来越多，高纯气体管道连接很讲究，该怎么连接，气体管道之间阀门如何选择阀门，高纯气体管路系统该怎么布置，这里都将详细介绍。密封件形式。
　　VCR 连接方式
　　气体不接触 密封材料， 流通表面几乎没有磨损 ，它是纵向压力进行压紧，选用质量优 良的金属垫 ，便可以做到很好的密封不泄露、污染少 ，因此得到广泛采用。 选用时做到连接件材料与主管材料一致 ，内表面光洁等级一致。
　　高纯气体管道系统布置不同于普通气体管道，一般要求管线不应大长，不应出现不易吹扫干净的“ 盲管 ”等死角。 在干管或支管末端设置必要的吹除 口和取样
口。在一些非连续运行的用户， 在管道末端连续不断的小气量放空， 以使管道内气体常流动，不会出现“ 死空间”。
　　根据过程气体质量要求， 必要时还要布置末端净化装置。一 般在进入洁净厂房的高纯气体管道的控 制阀门 、过滤 器 、减压 装置 、压力表 、流量计 、
在线分析仪器等 ， 集中设在气体人口室内，便于统一管理和控制。