JJF(兵工民品)0022-2023 X射线三维尺寸测量机校准规范
AUBAT-RY200
红宝石标准球
表面粗粒度Ra不大于0.05μm；直径和形状误差经过校准，形状误差MPE:1.0μm,圆度≤1μm，圆度直径不应大于X射线三维尺寸测量机测量空间对角线的20%。
校准：探测形状（PF）、尺寸误差（Ps）；
AUBAT-XS2023
多球标准器
最小球心距小于 30 mm；最大球心距大于 X 射线三维尺寸测量机测试位置空间对角线长度的 66%，其校准结果的扩展不确定度 U≤1μm，k=2。
校准：长度测量误差（E）
主要校准设备可选用多种类型材料制成，推荐使用红宝石。支承球的圆棒可采用低密度材料制成，应避免使用对 X 射线具有强烈吸收能力材料，如钢铁等。
JJF(兵工民品)0022-2023 X射线三维尺寸测量机校准规范适用于具有三维几何尺寸测量功能的线阵扫描方式和锥束扫描方式的X 射线三维尺寸测量机的校准。