氧化一般会让尺寸变小，因为氧化过程能够增加物质的官能团，减少空间占据，从而使其表面积变小。拓展来说，氧化有时也可以使尺寸变大，例如，当金属晶格经过氧化后，被氧化物层所包裹，在表面形成一层厚厚的保护膜，使金属处于更安全的状态，从而变大。